寧波民企攻克國家科技重大專項(xiàng)

寧波民企攻克國家科技重大專項(xiàng)

2017年05月27日 10:09:27 來源:浙江在線 作者:翁云騫

　　日前，科技部國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”實(shí)施管理辦公室在寧波召開驗(yàn)收會(huì)，由民企浙江金瑞泓科技股份有限公司牽頭的“8英寸硅片研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化及12英寸硅片關(guān)鍵技術(shù)研究”項(xiàng)目順利通過驗(yàn)收。這標(biāo)志著我國大直徑硅片國產(chǎn)化進(jìn)程邁出重要一步。

　　集成電路芯片是信息時(shí)代的核心基石，而硅片又是集成電路和分立器件制造核心基礎(chǔ)材料，在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的地位顯而易見，但我國大尺寸硅片長期依賴進(jìn)口，制約了相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展和供應(yīng)鏈安全。《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020）》確定了16個(gè)重大專項(xiàng)，其中“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)”就位列其中。

　　“硅片市場(chǎng)壟斷性強(qiáng)，國內(nèi)單月需求量超過70萬片，可國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)的供應(yīng)量還不到10萬片。憑借多年來與浙江大學(xué)硅材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等院所合作積累下的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，我們的國產(chǎn)8英寸半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)工藝和技術(shù)指標(biāo)不斷提升，已具備跟國際一線廠商正面競(jìng)爭的實(shí)力。”金瑞泓科技相關(guān)負(fù)責(zé)人表示。

　　尺寸越大，硅片的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)就越高，生產(chǎn)難度也越大。記者了解到，自從承擔(dān)國家科技重大專項(xiàng)以來，金瑞泓科技相關(guān)團(tuán)隊(duì)不斷實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵性制備技術(shù)突破，目前已完全掌握多項(xiàng)核心技術(shù)。截至目前，金瑞泓科技共獲相關(guān)授權(quán)發(fā)明專利35項(xiàng)，制定行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)40余項(xiàng)，同時(shí)也成為國內(nèi)唯一擁有硅單晶錠、硅研磨片、硅拋光片、硅外延片等全系產(chǎn)品生產(chǎn)能力的半導(dǎo)體企業(yè)，具備月產(chǎn)12萬片拋光片、5萬片外延片的產(chǎn)能。

　　在金瑞泓科技等企業(yè)帶動(dòng)下，寧波已成為國內(nèi)知名的集成電路材料基地，在全省乃至全國處于領(lǐng)先地位。寧波還成立了首期規(guī)模100億元、按市場(chǎng)化機(jī)制運(yùn)行的集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金，志在打造國家級(jí)集成電路特色工藝產(chǎn)業(yè)基地和專用材料產(chǎn)業(yè)基地，規(guī)劃建成長三角南翼集成電路產(chǎn)業(yè)強(qiáng)市。